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奥林巴斯显微镜MX63

关键词:奥林巴斯显微镜MX63

详细信息

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  成贯仪器——显微系统、光学仪器、外科手术设备等供应商【(廖泽阳)】

  成贯仪器(上海)有限公司是奥林巴斯显微镜、光学仪器、外科手术设备等供应商,常年提供原装日本(Japan)进口的olympus奥林巴斯显微镜,客户遍及上海,江苏(苏州、昆山、无锡、常州、南通、泰州、扬州、南京、淮安、徐州),浙江(嘉兴、湖州、杭州、绍兴、宁波、台州、温州、义乌、金华、衢州),安徽(黄山、宣城、芜湖、合肥、蚌埠、阜阳),湖北(武汉、荆州、宜昌),湖南(长沙、株洲、湘潭),江西(九江、南昌、樟树、赣州),福建(宁德、三明、龙岩、福州、厦门、泉州),广东(汕头、惠州、深圳、东莞、广州、佛山、中山、珠海),广西(南宁、桂林),海南(海口、三亚),贵州(贵阳、遵义),云南(昆明、大理、丽江),西藏(拉萨)、新疆(乌鲁木齐)、青海(西宁)、甘肃(兰州、酒泉)、宁夏(银川)、青海(西宁)、陕西(西安)、重庆、四川(成都、绵阳)、河南(焦作、郑州、许昌、商丘、洛阳),山西(太原、临汾)、山东(威海、烟台、青岛、潍坊、淄博、济南、泰安、临沂),天津、河北(石家庄、邯郸、秦皇岛、唐山),北京、内蒙古(呼和浩特、包头、鄂尔多斯)、辽宁(大连、丹东、营口、沈阳、葫芦岛),吉林(吉林、长春)、黑龙江(哈尔滨、大庆、牡丹江、鸡西)等国内大中城市。

  让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅

  MX63和MX63L显微镜系统特别适合尺寸300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计可让您根据需要选择组件,获得根据应用定制的系统。

  这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时保持检测者的工作舒适性。在与奥林巴斯Stream图像分析软件结合使用情况下,可以简化从观察到报告生成的整体工作流。

大尺寸样品检测

  多功能

  设计满足电子行业的人体工学和安全性要求,并以更多功能提高分析能力。

  人性化

  简洁的显微镜设置让用户调整和重复系统配置更加轻松。

  先进的成像技术

  我们成熟可靠的光学器件和优良的成像技术可获得清晰图像,并完成可靠检测。

  模块化

  用户可利用适合其应用的组件进行系统定制。

模块化

  应用图片库

  我们的先进图像管理功能可为您呈现您真正想要观察的内容。

  的分析工具

  MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像,让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。

  从不可见到可见:MIX观察与图像采集

  通过将暗场与诸如明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用,MIX观察技术能够获得独有的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用四分之一象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕,对于样品表面纹理的可视化非常有用。

  半导体晶圆上的结构

  

  

  

  集成电路图形不够清晰。

  

  

  晶圆颜色不可见。

  

  

  晶圆颜色和集成电路图形均清晰可辨。

  

  

  半导体晶圆上的光刻胶残留物

荧光

MX63_5_1.jpg

  

暗场

  

MX63_15.jpg

  

MIX

  

  

  样品本身不可见。

  

  

  残留物不清晰。

  

  

  集成电路图形和残留物均清晰可辨。

  

  

  聚光镜

暗场

MX63_15.jpg

  

暗场的四象限照明

  

MX63_15.jpg

  

没有光晕

  

  表面受到反射。

  

  

  来自不同角度定向暗场的多幅图像。

  

  

  将没有光晕的清晰图像拼接在一起,创建样品的单幅清晰图像。

  

  

  轻松生成全景图像: 即时图像拼接

  利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速完成图像拼接—电动载物台无需进行该操作。奥林巴斯Stream软件利用模式识别生成全景图像,让用户获得更宽的视场。

硬币的即时MIA图像

  硬币的即时MIA图像

  生成全聚焦图像: EFI

  奥林巴斯Stream软件的景深扩展成像(EFI)功能可采集高度超出物镜焦点深度的样品图像,并可将其合成一幅全聚焦图像。EFI配合手动或电动Z轴调焦使用,可轻松实现结构可视化的高度图像。其也可在Stream桌面版(Desktop)离线情况下生成EFI图像。

集成电路芯片上的凸块

  集成电路芯片上的凸块

  MX63

  MX63L

  光学系统

  UIS2光学系统(无限远校正系统)

  显微镜镜架

  反射光照明

  白光LED (带有光强度控制器) 12伏100瓦卤素灯,100瓦灯明场/暗场/分光镜组件手动切换。(反射镜分光镜组件为选配件。)

  通过手动操作调整3位编码分光镜组件

  内置电动孔径光阑(针对所有物镜预设,暗场自动完全打开)

  观察模式:明场、暗场、微分干涉相衬(DIC)*1、简易偏光 *1、荧光 *1、红外 *1 和MIX观察(4个定向暗场)*2

  *1选配分光镜组件,*2 需使用MIX观察配置

  透射光照明

  透射光照明装置:需使用MX-TILLA或MX-TILLB。

  - MX-TILLA:聚光镜(NA0.5)和孔径光阑

  - MX-TILLB:聚光镜(NA0.6),孔径光阑以及视场光阑

  光源:LG-PS2 (12V,100瓦卤素灯)光导:LG-SF

  观察模式:明场、简易偏光

  聚焦

  行程:32毫米

  每转行程微调:100微米

  最小分度: 1微米

  用于粗调的上限限位器和扭矩调节

  载荷重量(包括载物台和支架)

  8公斤

  15公斤

  观察筒

  宽视场(FN 22毫米)

  正像三目镜筒:U-ETR4

  正像、可调倾角三目镜筒:U-TTR-2

  倒像三目镜筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用于红外观察)

  倒像双目镜筒:U-BI30-2

  倒像可调倾角双目镜筒:U-TBI30

  超宽视场(FN 26.5毫米)

  正像可调倾角三目镜筒:MX-SWETTR (光程切换100% (目镜):0(相机)或0:100%)

  正像可调倾角三目镜筒:U-SWETTR (光程切换100% (目镜):0(相机)或20%:80%)

  倒像三目镜筒: U-SWTR-3

  电动物镜转换器

  明场

  带DIC插槽的电动六孔:U-D6REMC

  带DIC插槽的电动定心五孔:U-P5REMC

  明场和暗场

  带DIC插槽的电动六孔:U-D6BDREMC

  带DIC插槽的电动五孔:U-D5BDREMC

  带DIC插槽的电动定心五孔:U-P5BDREMC

  载物台 (X×Y)

  带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC8R

  行程: 210 x 210毫米

  透射光照明区域:

  189 x 189毫米

  带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC6R2

  行程: 158 x 158毫米

  (仅适用于反射光)

  带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC1412R2

  行程: 356 x 305毫米

  透射光照射区域:

  356 x 284毫米

  重量

  约35.6公斤(显微镜架26公斤)

  约44公斤(显微镜架28.5公斤)

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